特種氣體的重要性：在半導(dǎo)體工藝中，從芯片生長(zhǎng)到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離 不開(kāi)電子特氣，因此電子氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類，電子特種氣體（簡(jiǎn)稱電子特氣）是特種氣體的 一個(gè)重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽(yáng)能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。滅菌特種氣體由于它的活潑型，殺菌力強(qiáng)、殺菌譜廣，對(duì)物品損害輕微等優(yōu)點(diǎn)，已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一，
特種氣體在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用：晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴(kuò)散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存場(chǎng)地的道路，應(yīng)占整個(gè)場(chǎng)地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫(kù)前需檢漏，長(zhǎng)期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次，并做記錄。特種氣體分類：電子氣體是指用于半 導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體，目前，我國(guó)電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與 發(fā)達(dá)國(guó)家相比，尚有較大差距；
特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：根據(jù)儲(chǔ)存的氣體類型設(shè)置標(biāo)牌，如“嚴(yán)禁明火”、“危險(xiǎn)”、“禁止入內(nèi)”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設(shè)施。滅菌特種氣體主要應(yīng)用于（繃帶、縫線及手術(shù)器具）、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產(chǎn)品及貯藏方面的殺菌。特種氣體在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用：非晶硅太陽(yáng)能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
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